华海清科“位置标定装置”专利公布

作者：爱集微 04-03 07:24

来源：爱集微 #华海清科#

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天眼查显示，华海清科股份有限公司“位置标定装置”专利公布，申请公布日为2025年2月28日，申请公布号为CN119542200A。

本申请实施例提供了一种位置标定装置，该位置标定装置应用于干燥设备，干燥设备还包括承载盘、喷杆和支撑臂，承载盘用于在干燥设备对晶圆进行干燥时承载晶圆，喷杆用于向晶圆喷射流体，喷杆设置在支撑臂上，支撑臂用于调整喷杆的位置；位置标定装置包括标定盘和喷嘴指向件；标定盘用于装配在喷杆与承载盘之间，且与承载盘平行，标定盘靠近喷杆的侧面设置有标识区域；喷嘴指向件可拆卸连接在喷杆上，喷嘴指向件具有位于喷杆的喷射路径上的尖端，通过调整支撑臂上喷杆的位置，使得喷杆带动喷嘴指向件的尖端对准标识区域，对喷杆的喷嘴进行位置标定。本方案降低了对喷杆进行位置标定的难度。