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华海清科“位置标定装置”专利公布

作者: 爱集微 04-03 07:24
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来源:爱集微 #华海清科#
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天眼查显示,华海清科股份有限公司“位置标定装置”专利公布,申请公布日为2025年2月28日,申请公布号为CN119542200A。

本申请实施例提供了一种位置标定装置,该位置标定装置应用于干燥设备,干燥设备还包括承载盘、喷杆和支撑臂,承载盘用于在干燥设备对晶圆进行干燥时承载晶圆,喷杆用于向晶圆喷射流体,喷杆设置在支撑臂上,支撑臂用于调整喷杆的位置;位置标定装置包括标定盘和喷嘴指向件;标定盘用于装配在喷杆与承载盘之间,且与承载盘平行,标定盘靠近喷杆的侧面设置有标识区域;喷嘴指向件可拆卸连接在喷杆上,喷嘴指向件具有位于喷杆的喷射路径上的尖端,通过调整支撑臂上喷杆的位置,使得喷杆带动喷嘴指向件的尖端对准标识区域,对喷杆的喷嘴进行位置标定。本方案降低了对喷杆进行位置标定的难度。


责编: 赵碧莹
来源:爱集微 #华海清科#
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