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华进半导体“有源光芯片转接板及其制备方法”专利公布

作者: 爱集微 04-26 06:00
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来源:爱集微 #华进半导体#
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天眼查显示,华进半导体封装先导技术研发中心有限公司“有源光芯片转接板及其制备方法”专利公布,申请公布日为2025年3月7日,申请公布号为CN119575544A。

本发明涉及转接板技术领域,公开了一种有源光芯片转接板及其制备方法。有源光芯片转接板的制备方法包括:提供具有连接点和裸露的光口的有源光芯片,在有源光芯片上形成覆盖光口和连接点的保护层;形成贯穿保护层并延伸至有源光芯片的硅通孔结构,硅通孔结构包括导电金属且与光口及连接点错位设置;去除位于连接点上的保护层,以露出连接点,在保护层上形成电性连通导电金属和连接点的第一布线层;去除光口上的第一布线层和保护层,以露出光口。本发明中,在对有源光芯片进行硅通孔工艺之前,首先在有源光芯片表面形成保护层,减少后续工艺对光口的污染及湿法药液对连接点的损伤,保证光芯片有源转接板的性能。


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来源:爱集微 #华进半导体#
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