鲁汶仪器“一种离子源装置及离子源系统”专利获授权

作者：爱集微 2024-08-14

来源：爱集微 #鲁汶仪器#

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天眼查显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司“一种离子源装置及离子源系统”专利公布，申请公布日为2024年8月6日，申请公布号为CN118448236A。

本发明公开一种离子源装置及离子源系统，其中，该离子源装置包括工作桶，所述工作桶包括环形侧板和底板，所述环形侧板位于所述底板的一侧，所述环形侧板和所述底板围合形成放电腔室；所述环形侧板的内壁面设置有第一隔断部，所述第一隔断部为凹陷结构或者凸起结构；和/或，所述底板的内壁面设置有第二隔断部，所述第二隔断部为凹陷结构或者凸起结构。采用上述方案，环形侧板的内壁面设置有第一隔断部，和/或，底板的内壁面设置有第二隔断部，第一隔断部、第二隔断部均为凹陷结构或者凸起结构，能够增加环形侧板和/或底板内壁面形成周向导通的导电镀层的难度，这在一定程度上可抑制涡流的形成，以减少能量损耗，离子源装置的工作稳定性较高。