天眼查显示，华海清科（北京）科技有限公司“晶圆干燥装置和晶圆干燥方法”专利公布，申请公布日为2024年11月13日，申请公布号为CN119133038A。
本发明公开了一种晶圆干燥装置和晶圆干燥方法。该晶圆干燥装置包括：卡盘；支撑件，设置于卡盘上，用于支撑晶圆；旋转机构，连接于所述卡盘，用于驱动卡盘旋转；液体回收机构，呈环状布置于所述卡盘的径向外侧，用于承接晶圆旋转向外甩出的液体；在所述卡盘的上表面边缘的部位沿周向设置有凹陷部，所述凹陷部的最低点到卡盘上表面边缘之间平滑过渡。晶圆干燥方法通过所述晶圆干燥装置实现。采用上述技术方案，本发明的晶圆干燥装置和晶圆干燥方法，优化了液体的排出路径，确保液滴迅速进入液体回收机构，提高干燥效果和液体回收效率。
