天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“进气装置及半导体设备”专利公布，申请公布日为2025年2月14日，申请公布号为CN119433507A。
本发明提供一种进气装置及半导体设备。其中，进气装置包括匀流结构和气体分配结构；匀流结构包括多个环形匀流腔以及与各环形匀流腔对应连通的多个进气管道；各环形匀流腔在径向上的外环侧面具有均匀分布的多个第一出气孔；气体分配结构包括与环形匀流腔同轴设置的多个环形配气腔；多个第二出气孔非均匀地分布在对应的环形配气腔外周面。而且气体分配结构能够在第一位置和第二位置之间移动；在第一位置时，气体分配结构环绕在匀流结构的外周，各环形配气腔的进气端与第一出气孔密封连通，以通过第二出气孔非均匀地出气；在第二位置时，气体分配结构与匀流结构的外周面错开，以使第一出气孔暴露在半导体工艺腔室中，以实现均匀出气。
